晶圆雷射切割道形貌自动量测设备 | 台湾高品质晶圆雷射切割道形貌自动量测设备制造商 | 旭東機械工業股份有限公司
旭東機械是台湾专业制造晶圆雷射切割道形貌自动量测设备及提供晶圆雷射切割道形貌自动量测设备服务的优良厂商(成立于西元1979年)旭東機械累积超过40年深厚客制化设备制造的淬链，凭借光机电软系统整合的核心技术，提供平面显示器面板模组全自动生产线，包括：涂胶设备、边缘清洗机、外引脚贴合机、涂胶机、印刷电路板贴合机、印刷电路板检查机、雷射切割划线机。
晶圆雷射切割道形貌自动量测设备
LG-3200
晶圆雷射切割道形貌自动量测设备应用于晶圆切割（Dicing Saw）前，进行雷射开槽（Laser Grooving）后，针对雷射切割道进行三维形貌尺寸量测，检测出不符合制程规格之产品，以确保晶圆切割时产品的可用性。
产品特性
- 8吋及12吋共用晶圆框匣自动上下料。
- 自动晶圆对位及对焦功能。
- 奈米解析高精度三维形貌。
- 支援SECS／GEM通讯。
重点规格
- 物镜倍率：2.5X、5X、10X、20X、50X、100X、150X（选配）
- 高度量测重复性：≤ 0.5 μm
- 量测项目：雷射开槽深度、雷射开槽宽度、雷射开槽上缘宽度、雷射开槽底部宽度、雷射开槽偏移、表面粗糙度
- 设备尺寸：2200mm (L) x 1400mm (W) x 1900mm (H)
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旭東機械晶圆雷射切割道形貌自动量测设备服务简介
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