自動ウェーハレーザーグルービングプロファイル測定装置 | 第4次産業革命向けのインテリジェントプロセス装置。製造業 | Shuz Tung
自動ウェーハレーザーグルービングプロファイル測定装置メーカー。自動ウエハーレーザーグルービングプロファイル測定装置は、主にレーザーグルービング後の三次元プロファイルとサイズの測定に使用され、プロセス仕様に適合しない製品を検出し、ウエハーダイシング中の製品の可用性を確保するために使用されます。 Shuz Tungは1979年以来、台湾の高品質自動ウェーハレーザーグルービングプロファイル測定装置、自動ウェハ検査メーカーです。Shuz Tung 電子機器事業部は2001年に設立され、ハイテク電子機器分野に焦点を当て、自動生産設備やプロセス検査・計測機器の研究開発、設計、製造に専念しています。1979年に設立され、43年の豊富な経験とカスタマイズされた機器製造におけるリソースを持ち、優れた光学、機械、電子、ソフトウェア、およびシステム統合能力を有するShuz Tung機械産業は、精密金型製造、レーザー修理および切断、高精度ボンディング（PCBボンダー）、自動光学検査（AOI）、人工知能画像処理、およびスマート製造のためのターンキー・ソリューションを中心としています。
自動ウェーハレーザーグルービングプロファイル測定装置
LG-3200
自動ウェハ検査
自動ウエハーレーザーグルービングプロファイル測定装置は、主にレーザーグルービング後の三次元プロファイルとサイズの測定に使用され、プロセス仕様に適合しない製品を検出し、ウエハーダイシング中の製品の可用性を確保するために使用されます。
特長
- 8インチと12インチのウェハーフレームカセットの自動ロードと自動アンロード。
- ウェハーの自動アライメントと自動フォーカス。
- ナノ分解能の三次元測定。
- SECS / GEM通信に対応。
仕様
- 対物レンズ倍率: 2.5X、5X、10X、20X、50X、100X、150X (オプション)
- 高さ測定の繰り返し精度: ≤ 0.5μm
- 測定項目: レーザー深さ、レーザースクライブ幅、スクライブ上部幅、スクライブ下部幅、スクライブシフト、表面粗さ
- 装置サイズ: 2200mm (L) x 1400mm (W) x 1900mm (H)
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自動ウェーハレーザーグルービングプロファイル測定装置 | 台湾製のインテリジェントプロセス装置 | Shuz Tung
1979年以来台湾を拠点に、Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd. は知能プロセス装置の製造メーカーです。主要なインテリジェントプロセス装置には、自動ウェーハレーザーグルービングプロファイル測定装置、半導体自動化装置、半導体計測検査装置、フラットパネルディスプレイターンキー装置、TFT-LCDモジュールプロセス全ライン装置、ウェハーシッパー自動梱包・開梱機が含まれています。当社はハイテク産業における最適な機器効率のためのカスタマイズされた設計を提供しています。生産速度、品質、環境配慮を優先することで競争力と大きな付加価値を確保します。
1979年に設立され、43年の豊富な経験とカスタマイズされた機器製造のリソース、優れた光学、機械、電子、ソフトウェア、およびシステム統合能力を持つShuz Tung Machinery Industrialは、精密金型製造、レーザー修理と切断、高精度ボンディング（PCBボンダー）、自動光学検査（AOI）、人工知能画像処理、およびスマート製造のためのターンキー・ソリューションを含むコア技術に焦点を当てています。
'SHUZ TUNG'は1979年以来、先進技術と30年の経験を持つ高品質なインテリジェントプロセス装置を顧客に提供しており、Shuz Tungはそれぞれの顧客のニーズを満たすことを保証しています。