自動ウェーハ光学顕微鏡検査装置
OMM-3200
自動ウェハ検査
自動ウエハ光学顕微鏡検査装置の主な機能は、顧客要件に従ってウエハ検査を行い、手動操作を代替し、ウエハ検査の速度と精度を向上させ、誤検出率を低減し、SECSを介してデータを自動的に報告し、保存し、分析して、知能化および自動化された生産ラインの要件を満たすことです。 これにより、顧客の検査コストが効果的に削減され、最終顧客の検査結果との比較が完了し、AQLサンプリング、マルチゾーンサンプリング、厳格な検査などさまざまな種類の検査方法、およびパッド検査領域形態(幾何学的輪郭)に対するカスタマイズ設定が行われます。
特長
- オプションの単一または二重のウェーハカセット自動ローディングシステム。
- 寸法測定とAOI + AI欠陥検出機能付き。
- カスタマイズ可能な手動装置を自動化装置に変換できます。
- SECS / GEM通信に対応。
アプリケーション
ウェーハサイズ: 8インチ、12インチ
対物レンズ倍率: 5倍、10倍、20倍、50倍、100倍(オプション)
オートフォーカス: イメージングまたは光学コンフォーカル
ソフトウェア機能: OCR、レシピ設定、欠陥AOI
装置サイズ: 1900mm(L) x 1704mm(W) x 1800mm(H)
- ギャラリー
- 自動ウェーハ光学顕微鏡検査装置
- ウェーハ光学顕微鏡ユーザーインターフェース
自動ウェーハ光学顕微鏡検査装置 | 台湾製のインテリジェントプロセス装置 | Shuz Tung
1979年以来台湾を拠点に、Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd. は知能プロセス装置の製造メーカーです。主要なインテリジェントプロセス装置には、自動ウェーハ光学顕微鏡検査装置、半導体自動化装置、半導体計測検査装置、フラットパネルディスプレイターンキー装置、TFT-LCDモジュールプロセス全ライン装置、ウェハーシッパー自動梱包・開梱機が含まれています。当社はハイテク産業における最適な機器効率のためのカスタマイズされた設計を提供しています。生産速度、品質、環境配慮を優先することで競争力と大きな付加価値を確保します。
1979年に設立され、43年の豊富な経験とカスタマイズされた機器製造のリソース、優れた光学、機械、電子、ソフトウェア、およびシステム統合能力を持つShuz Tung Machinery Industrialは、精密金型製造、レーザー修理と切断、高精度ボンディング(PCBボンダー)、自動光学検査(AOI)、人工知能画像処理、およびスマート製造のためのターンキー・ソリューションを含むコア技術に焦点を当てています。
'SHUZ TUNG'は1979年以来、先進技術と30年の経験を持つ高品質なインテリジェントプロセス装置を顧客に提供しており、Shuz Tungはそれぞれの顧客のニーズを満たすことを保証しています。