晶圆自动光学显微镜检测设备
OMM-3200
晶圆自动光学显微镜检测设备的主要功能是依客户需求进行晶圆缺陷检测,取代人工作业、提升晶圆检测速度及准确性,降低误检率,并透过SECS 自动数据上报储存分析,符合智能产线智动化需求,有效降低客户检测成本,并完成与终端客户的检出比对,以及多样态的检测方式(AQL抽检、多区抽检、加严检),Pad检测区形貌(几何外框)的客制化设定等。
产品特性
- 可选择单或双晶圆盒自动入料载台系统。
- 具备尺寸量测及AOI + AI缺陷检测功能。
- 可客制化手动设备改造为自动化设备。
- 支援SECS/GEM通讯。
产品应用
晶圆尺寸:8吋、12吋
物镜倍率:5X、10X、20X、50X、100X (Optional)
自动对焦:Imaging or Optical Confocal
软体功能:OCR、Recipe Setup、Defect AOI
设备尺寸:1900mm (L) x 1704mm (W) x 1800mm (H)
- 相簿
- 自动晶圆光学显微镜检测设备
- 晶圆光学显微镜用户界面
旭東機械晶圆自动光学显微镜检测设备服务简介
旭東機械工業股份有限公司是台湾一家拥有超过45年经验的专业晶圆自动光学显微镜检测设备生产制造服务商。 我们成立于西元1979年, 在电子设备产业领域上,旭東機械提供专业高品质的晶圆自动光学显微镜检测设备制造服务,旭東機械总是可以达成客户各种品质要求。
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