晶圆盒自动包装设备

FOUP / FOSB自动包装机/ 旭东不只是机械设备的供应商,更是为客户提供制程设备,整合规划、设计、制造、训练与整厂售后服务的策略合作伙伴。

晶圆盒自动包装设备 - FOUP / FOSB 晶圆盒自动包装机
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晶圆盒自动包装设备

SPK

FOUP / FOSB自动包装机

晶圆盒自动包装主要应用于晶圆出货及厂区间转移,可节省人力、减少工安、提升晶圆包装品质、确保晶圆盒包装之气密性,有效降低人工作业产生之晶圆破片风险。可依客户需求将晶圆盒(FOUP、FOSB)、干燥包、湿度卡及客户标签,真空密封入客户指定之袋型(铝袋、抗静电袋、透明袋)内。

产品特性
  • 可客制单层或双层包装。
  • RFID自动装卸及可回收。
  • 自动真空热封。
  • 补料不停线。
  • 流程纪录可追朔。
  • 填充氮气功能。
  • 可串接OHT & AGV, OHT & AGV can be connected in series。
产品应用

半导体晶圆制造、封装及测试产业。

重点规格
  • UPH ≥ 40
  • MCBI ≥ 2000
  • 对应的晶圆盒Wafer Carrier种类:FOUP/FOSB (12")、POD (8")
  • 对应的晶圆包装袋种类:铝袋aluminum bags、抗静电袋antistatic bags、透明袋transparent bags
相簿

旭東機械晶圆盒自动包装设备服务简介

旭東機械工業股份有限公司是台湾一家拥有超过45年经验的专业晶圆盒自动包装设备生产制造服务商。 我们成立于西元1979年, 在电子设备产业领域上,旭東機械提供专业高品质的晶圆盒自动包装设备制造服务,旭東機械总是可以达成客户各种品质要求。