ウェハーメタルフレームテープ分解装置
自動ウェハーリングフィルム分解装置
アイアンウェハーフレームは、ウェハの研削および切断中に外枠を固定するために主に使用され、フレームは繰り返し再利用およびクリーニングが可能です。この装置は、ウェハアイアンフレームのフィルムを自動的に取り除くことができ、残留ウェハの検出、残留接着剤のクリーニング、およびアイアンフレームの袋詰めを自動的に行う機能を備えています。
特長
- ドライクリーニングを使用して、効果的に接着剤の残りを除去します。
- 自動光学残留粒子検出。
- SECS/GEM通信をサポートします。
アプリケーション
アイアンウェハーフレーム(青いフィルム付き)
仕様
- ウェハサイズ:8"、12"、または両方
- ウェハリングの反り≤ 1mm
- フィルムの変形≤ 10mm
- UPH > 100
番号 | アイテム | 基準 | |
---|---|---|---|
1.1 | 作業能力 | 給送仕様 | 12"ウェハリング |
1.2 | ウエハーフレームカセット方式のローディング | ||
1.3 | 許容される製品変形 | ウエハーリングの反り≤ 1mm | |
1.4 | フィルムの変形≤ 10mm | ||
2.1 | ロードポート | カセット | 1.2 カセットをロードしてください。 2.カセットの最大積載量:重量20キログラム |
2.2 | カセットの操作中、安全ドアを開けてはいけません。(オムロンの安全スイッチを指定) | ||
2.3 | カセットのアンチドロップリングが開かれていない場合、機械は警報を発し、操作できません。 | ||
2.4 | カセットが位置していない場合、機械は警報を発し、動作を停止します。 | ||
2.5 | カセットの存在検出機能がカセットを検出しない場合、機械は警報を発し、動作を停止します。 | ||
2.6 | ウエハリングの突出検出、または素材との衝突を防ぐための防止機構 | ||
2.7 | ウエハーリングのダブル/クロススロット/位置/数量チェック機能、および操作インターフェースに表示されます。 | ||
2.8 | ウエハーリングアーム | 1.ウェハリングアームにはウェハリングのアンクランプ検出があります。 2.アームの過度な押し引き保護機構、押し値≥2kgfアラーム。 | |
2.9 | 1.吸引失敗の真空検出。 2.工場の設備内の真空は3分以上供給でき、その間製品は安全な場所に置かれ、チップの落下についての疑念は全くありません。 3.電源が切断されると、機器は動作できませんが、圧力は継続的に維持され、チップの落下については疑いがありません。 | ||
2.10 | E84 | E84 予約済み E84 機能のアップグレード。 | |
2.11 | リングID | リーダー | リングIDリーダーがウエハリングの1Dバーコードを読み取ります。 |
3.1 | 金属フレーム / テープフィルムの分離 | 転送アーム | 吸引失敗の真空検出。 |
3.2 | テープフィルムの配置失敗の検出(転送アームに貼り付け)。 | ||
3.3 | テープフィルムのブランキングエリア | 1.積み重ねられた状態で、積み重ねの最大高さは60mmです。 2.スタッキングエリアが2つあります。 3.スタッキングエリアの存在検知は、自動バッチ変更と混合防止の機能を持っていなければなりません。 | |
3.4 | セパレータ用紙配置機能。 | ||
3.5 | セパレータ用紙貯蔵タンク補充検知機能。 | ||
3.6 | 金属フレームのブランキングエリア | 1.積み重ねられた状態で、最大の積み重ね。高さは150mmです。 2.スタックがいっぱいになった検出。 | |
4.1 | マシン全体のエリア | ステータス検出 | 機構転送の障害または操作中の位置の特定の失敗のイベントが発生した場合にアラームを鳴らす。 |
4.2 | セキュリティ機構機能 | 操作中にすべてのドアと機械カバーを開けることは禁止されています。 |
- ギャラリー
- 装置内部
ウェハーメタルフレームテープ分解装置 | 台湾製のインテリジェントプロセス装置 | Shuz Tung
1979年以来台湾を拠点に、Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd. は知能プロセス装置の製造メーカーです。主要なインテリジェントプロセス装置には、ウェハーメタルフレームテープ分解装置、半導体自動化装置、半導体計測検査装置、フラットパネルディスプレイターンキー装置、TFT-LCDモジュールプロセス全ライン装置、ウェハーシッパー自動梱包・開梱機が含まれています。当社はハイテク産業における最適な機器効率のためのカスタマイズされた設計を提供しています。生産速度、品質、環境配慮を優先することで競争力と大きな付加価値を確保します。
1979年に設立され、43年の豊富な経験とカスタマイズされた機器製造のリソース、優れた光学、機械、電子、ソフトウェア、およびシステム統合能力を持つShuz Tung Machinery Industrialは、精密金型製造、レーザー修理と切断、高精度ボンディング(PCBボンダー)、自動光学検査(AOI)、人工知能画像処理、およびスマート製造のためのターンキー・ソリューションを含むコア技術に焦点を当てています。
'SHUZ TUNG'は1979年以来、先進技術と30年の経験を持つ高品質なインテリジェントプロセス装置を顧客に提供しており、Shuz Tungはそれぞれの顧客のニーズを満たすことを保証しています。