웨이퍼 금속 프레임 테이프 분해 장비
자동 웨이퍼 링 필름 분해 장비
철 웨이퍼 프레임은 웨이퍼 다이싱에서 외부 프레임을 웨이퍼 연마 및 절단 중에 고정하는 데 주로 사용되며, 프레임은 반복적으로 재활용 및 청소할 수 있습니다. 장비는 웨이퍼 철 프레임의 필름을 자동으로 제거할 수 있으며, 잔류 웨이퍼를 감지하고 잔류 접착제를 청소하고 철 프레임을 자동으로 포장하는 기능을 갖추고 있습니다.
특징
- 드라이클리닝을 사용하여 효과적으로 접착제 잔류물을 제거합니다.
- 자동 광학 잔류물 검출.
- SECS/GEM 통신 지원.
응용 프로그램
철 웨이퍼 프레임 (파란 필름 포함)
사양
- 웨이퍼 크기: 8", 12", 또는 둘 다
- 웨이퍼 링 휘어짐 ≤ 1mm
- 필름 변형 ≤ 10mm
- UPH > 100
번호 | 품목 | 기준 | |
---|---|---|---|
1.1 | 작동 용량 | 피딩 사양 | 12" 웨이퍼 링 |
1.2 | 웨이퍼 프레임 카세트 방식 입고 | ||
1.3 | 허용 가능한 제품 변형 | 웨이퍼 링 왜곡 ≤ 1mm | |
1.4 | 필름 변형 ≤ 10mm | ||
2.1 | 로드 포트 | 카세트 | 1.2 카세트 로드. 2.카세트 페이로드 최대: 무게 20Kg |
2.2 | 카세트 작동 중에는 안전 문을 열면 안 됩니다. (Omron 안전 스위치 지정) | ||
2.3 | 카세트 안착 방지 링이 열리지 않으면 기계에 경보가 울리고 작동할 수 없습니다. | ||
2.4 | 카세트가 위치되지 않으면 기계가 경보를 울리고 작동을 중지합니다. | ||
2.5 | 카세트 존재 감지 기능, 카세트가 없음을 감지하면 기계가 경보를 울리고 작동을 중지합니다. | ||
2.6 | 웨이퍼 링 돌출 감지 또는 속지 방지 메커니즘을 통해 돌출물이 재료와 충돌하는 것을 방지합니다. | ||
2.7 | 웨이퍼 링 더블 / 크로스 슬롯 / 위치 / 수량 확인 기능 및 작업 인터페이스에 표시됩니다. | ||
2.8 | 웨이퍼 링 암 | 1.웨이퍼 링 암에 웨이퍼 링 언클램프 감지가 있습니다. 2.팔 오버-푸시/풀 보호 메커니즘, 푸시 값 ≥ 2kgf 경보. | |
2.9 | 1.흡입 실패 진공 감지. 2.공장 시설 내 진공은 3분 이상 공급될 수 있으며, 제품은 그 기간 동안 안전한 곳에 놓일 수 있으며 칩이 떨어질 염려가 없습니다. 3.전원이 차단되면 장비가 작동하지 않지만 압력은 계속 유지될 수 있으며 칩이 떨어지는 것에 대해 의심할 여지가 없습니다. | ||
2.10 | E84 | E84 예약 E84 기능 업그레이드. | |
2.11 | 링 ID | 리더 | 링 ID 리더가 웨이퍼 링 1D 바코드를 읽습니다. |
3.1 | 금속 프레임 / 테이프 필름 분리 | 전송 암 | 진공 흡입 실패 감지. |
3.2 | 테이프 필름 배치 실패 감지 (이송 암에 달라붙음). | ||
3.3 | 테이프 필름 블랭킹 영역 | 1.쌓인 방식으로 배치하면 쌓을 수 있는 최대 높이는 60mm입니다. 2.스택 영역이 2개 있습니다. 3.스태킹 영역의 존재 감지는 자동 일괄 변경 및 방지 기능을 가져야 합니다. | |
3.4 | 분리지 종이 배치 기능. | ||
3.5 | 분리지 종이 저장 탱크 보충 감지 기능. | ||
3.6 | 금속 프레임 빈 영역 | 1.쌓인 방식으로 배치된 스택 맥스.높이는 150mm입니다. 2.스택 가득 찼을 때 감지. | |
4.1 | 기계 전체 영역 | 상태 감지 | 기계 이송 실패 또는 운전 중 위치를 찾지 못한 경우 알람. |
4.2 | 보안 메커니즘 기능 | 운전 중에 모든 문과 기계 덮개를 열면 안 됩니다. |
- 갤러리
- 장비 내부
웨이퍼 금속 프레임 테이프 분해 장비 | 대만 제조 지능형 공정 장비 | Shuz Tung
1979년부터 대만을 기반으로 하는 Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd.는 지능형 공정 장비 제조업체입니다.주요 지능형 공정 장비에는 웨이퍼 금속 프레임 테이프 분해 장비, 반도체 자동화 장비, 반도체 측정 및 검사 장비, 평판 디스플레이 턴키 장비, TFT-LCD 모듈 공정 전체 라인 장비 및 웨이퍼 선박 자동 포장 및 언패킹 기계가 포함됩니다.우리는 고기술 산업에서 최적의 장비 효율을 위한 맞춤형 디자인을 제공합니다.생산 속도, 품질 및 환경 친화성을 우선시함으로써 경쟁 우위와 상당한 부가가치를 확보할 수 있습니다.
1979년 설립된 Shuz Tung 기계 산업은 맞춤형 장비 제조에 있어 43년의 방대한 경험과 자원, 탁월한 광학, 기계, 전자, 소프트웨어 및 시스템 통합 능력에 중점을 두고 있으며, 정밀 금형 제조, 레이저 수리 및 절단, 고정밀 본딩 (PCB 본더), 자동 광학 검사 (AOI), 인공지능 이미징 및 스마트 제조를 위한 턴키 솔루션을 포함한 핵심 기술에 초점을 맞추고 있습니다.
'SHUZ TUNG'는 1979년부터 고객에게 고급 기술과 30년의 경험을 갖춘 고품질 지능형 공정 장비를 제공해 왔으며, 'SHUZ TUNG'은 각 고객의 요구를 충족시키도록 보장합니다.