Wafer-Metallrahmen-Klebeband-Demontage-Ausrüstung
Automatische Wafer-Ring-Film-Demontage-Ausrüstung
Der Eisenwafer-Rahmen wird hauptsächlich beim Wafer-Schneiden verwendet, um den äußeren Rahmen während des Wafer-Schleifens und -Schneidens zu fixieren, und der Rahmen kann wiederholt recycelt und gereinigt werden. Die Ausrüstung kann automatisch die Folie für den Wafer-Eisenrahmen entfernen und verfügt über die Funktionen zur Erkennung von Restwafern, Reinigung von Restklebstoff und automatisches Verpacken des Eisenrahmens.
Eigenschaften
- Entfernen Sie effektiv Kleberückstände mit Trockenreinigung.
- Automatische optische Restkornerkennung.
- Unterstützung der SECS/GEM-Kommunikation.
Anwendungen
Eisenwafer-Rahmen (mit blauer Folie)
Spezifikation
- Wafergröße: 8", 12" oder beides
- Wafer-Ringverzug ≤ 1mm
- Filmverformung ≤ 10mm
- UPH > 100
Nr. | Artikel | Kriterien | |
---|---|---|---|
1.1 | Arbeitskapazität | Zuführungsspezifikation | 12" Wafer-Ring |
1.2 | Wafer-Rahmenkassette für die Zuführung | ||
1.3 | Zulässige Produktverformung | Wafer-Ringverzug ≤ 1mm | |
1.4 | Filmverformung ≤ 10mm | ||
2.1 | Ladeport | Kassette | 1.2 Kassetten laden. 2.Kassetten-Nutzlast max: Gewicht 20 kg |
2.2 | Während des Kassettenbetriebs darf die Sicherheitstür nicht geöffnet werden. (Omron-Sicherheitsschalter angeben) | ||
2.3 | Wenn der Kassetten-Anti-Fallring nicht geöffnet ist, muss die Maschine Alarm auslösen und darf nicht betrieben werden. | ||
2.4 | Wenn die Kassette nicht positioniert ist, muss die Maschine Alarm auslösen und die Arbeit stoppen. | ||
2.5 | Bei der Kassettenpräsenzerkennungsfunktion, bei fehlender Kassette, Maschinenalarm und Betriebsstopp. | ||
2.6 | Detektion von Wafer-Ring-Vorsprüngen oder Anti-Täuschungsmechanismus, um Kollisionen mit Materialien zu verhindern. | ||
2.7 | Wafer-Ring-Doppel-/Kreuzschlitz-/Position-/Mengenprüffunktion und Anzeige auf der Bedienoberfläche. | ||
2.8 | Wafer-Ringarm | 1.Der Wafer-Ring-Arm verfügt über eine Erkennung für das Entriegeln des Wafer-Rings. 2.Arm-Überdrück- / Zug-Schutzmechanismus, Druckwert ≥ 2kgf Alarm. | |
2.9 | 1.Saugausfall Staubsaugererkennung. 2.Der Vakuum im Fabrikgebäude kann für mehr als 3 Minuten versorgt werden, und das Produkt kann während dieser Zeit an einem sicheren Ort platziert werden, ohne Zweifel an einem Chip-Fall. 3.Wenn der Strom ausfällt, kann das Gerät nicht betrieben werden, aber der Druck kann kontinuierlich aufrechterhalten werden, und es besteht kein Zweifel an einem Chip-Fall. | ||
2.10 | E84 | E84 reservierte E84-Funktionsaktualisierung. | |
2.11 | Ring-ID | Lesegerät | Ring-ID-Lesegerät liest den 1D-Barcode des Wafer-Rings. |
3.1 | Metallrahmen / Trennung des Klebebands | Transferarm | Erkennung von Vakuumausfall. |
3.2 | Erkennung des Fehlens der Bandfilmplatzierung (Kleben am Transferarm). | ||
3.3 | Bandfilm-Blindbereich | 1.In gestapelter Anordnung beträgt die maximale Stapelhöhe 60 mm. 2.Es gibt 2 Stapelbereiche. 3.Die Präsenzerkennung im Stapelbereich muss die Funktion des automatischen Chargenwechsels und der Anti-Mischung haben. | |
3.4 | Funktion zur Platzierung des Trennpapier | ||
3.5 | Funktion zur Erkennung der Auffüllung des Trennpapierlagers | ||
3.6 | Bereich für das Ausstanzen des Metallrahmens | 1.In gestapelter Weise platziert, das Stapeln Max.Die Höhe beträgt 150 mm. 2.Erkennung eines vollen Stapels. | |
4.1 | Gesamtbereich der Maschine | Statuserkennung | Alarm bei einem Fehler beim Mechanismuswechsel oder bei einem Fehler beim Auffinden während des Betriebs. |
4.2 | Sicherheitsmechanismusfunktion | Es ist verboten, alle Türen und die Maschinenabdeckung während des Betriebs zu öffnen. |
- Galerie
- Ausrüstung im Inneren
Wafer-Metallrahmen-Klebeband-Demontage-Ausrüstung | Hergestellt in Taiwan Intelligente Prozessausrüstung | Shuz Tung
Seit 1979 in Taiwan ansässig, ist Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd. ein Hersteller von intelligenten Prozessgeräten.Zu den wichtigsten intelligenten Prozessausrüstungen gehören Wafer-Metallrahmen-Klebeband-Demontage-Ausrüstung, Halbleiterautomatisierungsausrüstung, Halbleitermesstechnik- und Inspektionsausrüstung, schlüsselfertige Ausrüstung für Flachbildschirme, Ausrüstung für den gesamten Prozess von TFT-LCD-Modulen und automatische Verpackungs- und Entpackungsmaschinen für Wafer-Transportbehälter.Wir bieten maßgeschneiderte Designs für optimale Geräteeffizienz in High-Tech-Branchen an.Die Priorisierung von Produktionsgeschwindigkeit, Qualität und Umweltfreundlichkeit gewährleistet Wettbewerbsvorteile und erheblichen Mehrwert.
Gegründet im Jahr 1979, mit 43 Jahren umfangreicher Erfahrung und Ressourcen in der Herstellung von maßgeschneiderten Geräten sowie herausragenden Fähigkeiten in optischer, mechanischer, elektronischer, Software- und Systemintegration konzentriert sich Shuz Tung Machinery Industrial auf die Kerntechnologien, darunter Präzisionsformenbau, Laserreparatur und -schneiden, hochpräzise Verbindung (PCB-Bonder), Automatische optische Inspektion (AOI), Künstliche Intelligenz-Bildgebung und schlüsselfertige Lösungen für die intelligente Fertigung.
'Shuz Tung' bietet seinen Kunden seit 1979 hochwertige intelligente Prozessausrüstungen mit fortschrittlicher Technologie und 30 Jahren Erfahrung. 'Shuz Tung' stellt sicher, dass die Bedürfnisse jedes Kunden erfüllt werden.