晶圆盒自动检测设备

晶圆盒自动检测设备/ 旭东不只是机械设备的供应商,更是为客户提供制程设备,整合规划、设计、制造、训练与整厂售后服务的策略合作伙伴。

晶圆盒自动检测设备 - 晶圆盒自动检测设备
  • 晶圆盒自动检测设备 - 晶圆盒自动检测设备

晶圆盒自动检测设备

WF-3000

晶圆盒(FOUP / FOSB)自动检测设备应用于半导体制程作业中之晶圆盒由于传送过程中摩擦碰撞产生之外观瑕疵、缺件及形变等进行检验,降低因为晶圆盒缺损所产生的晶圆污染风险。

产品特性
  • 全自动化非接触光学检测。
  • 可客制化检测项目。
  • 符合SEMI S2认证。
  • 支援SECS/GEM通讯。
产品应用

检测速度:UPH ≥ 17
检测项目:晶圆盒把手、蘑菇头、排骨架(门上)、门板胶条、螺丝(门上)、排骨架(正面)、底部Filter、底部Info Pin、螺丝(底部)、FOUP Window、Window螺丝、FOUP翅膀、门板钥匙孔,以及其他条码比对、门板翘曲、门板未关完全....等。
设备尺寸:2800mm (L) x 1900mm (W) x 2200mm (H)

相簿

旭東機械晶圆盒自动检测设备服务简介

旭東機械工業股份有限公司是台湾一家拥有超过45年经验的专业晶圆盒自动检测设备生产制造服务商。 我们成立于西元1979年, 在电子设备产业领域上,旭東機械提供专业高品质的晶圆盒自动检测设备制造服务,旭東機械总是可以达成客户各种品质要求。