高速全晶圆缺陷自动光学检测设备 | 台湾高品质高速全晶圆缺陷自动光学检测设备制造商 | 旭東機械工業股份有限公司
旭東機械是台湾专业制造高速全晶圆缺陷自动光学检测设备及提供高速全晶圆缺陷自动光学检测设备服务的优良厂商(成立于西元1979年)旭東機械累积超过40年深厚客制化设备制造的淬链，凭借光机电软系统整合的核心技术，提供平面显示器面板模组全自动生产线，包括：涂胶设备、边缘清洗机、外引脚贴合机、涂胶机、印刷电路板贴合机、印刷电路板检查机、雷射切割划线机。
高速全晶圆缺陷自动光学检测设备
AFOM-3200
高速全晶圆缺陷自动光学检测设备可针对线路图案晶圆表面缺陷进行高速全检，检测解析度可以根据客户需求进行显微物镜倍率切换，针对12吋矽晶圆在1.1微米的像素解析条件下，检测速度可以达到每小时30片以上。检测载台可以针对矽晶圆及玻璃晶圆是否允许晶背可否碰触进行客制化设计，检测缺陷图像透过SECS 自动数据上报储存分析，符合智能产线智动化需求。
产品特性
- 晶圆高速全检。
- 支援矽晶圆及玻璃晶圆。
- 支援SECS/GEM通讯。
重点规格
- 晶圆尺寸：8吋、12吋
- 物镜倍率：2X、5X、10X、20X (可选)
- 自动对焦： Coaxial Real-time Autofocus
- 光源：Bright and Dark Field LED Lighting
- Throughput: WPH ≥ 30
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旭東機械高速全晶圆缺陷自动光学检测设备服务简介
旭東機械工業股份有限公司是台湾一家拥有超过45年经验的专业高速全晶圆缺陷自动光学检测设备生产制造服务商。 我们成立于西元1979年, 在电子设备产业领域上,旭東機械提供专业高品质的高速全晶圆缺陷自动光学检测设备制造服务,旭東機械总是可以达成客户各种品质要求。
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