高速全晶圓缺陷自動光學檢測設備 | 台灣高品質高速全晶圓缺陷自動光學檢測設備製造商 | 旭東機械工業股份有限公司
旭東機械是台灣專業製造高速全晶圓缺陷自動光學檢測設備及提供高速全晶圓缺陷自動光學檢測設備服務的優良廠商(成立於西元1979年)旭東機械累積超過40年深厚客製化設備製造的淬鍊，憑藉光機電軟系統整合的核心技術，提供平面顯示器面板模組全自動生產線，包括：塗膠設備、邊緣清洗機、外引腳貼合機、塗膠機、印刷電路板貼合機、印刷電路板檢查機、雷射切割劃線機。
高速全晶圓缺陷自動光學檢測設備
AFOM-3200
高速全晶圓缺陷自動光學檢測設備可針對線路圖案晶圓表面缺陷進行高速全檢，檢測解析度可以根據客戶需求進行顯微物鏡倍率切換，針對12吋矽晶圓在1.1微米的像素解析條件下，檢測速度可以達到每小時30片以上。檢測載台可以針對矽晶圓及玻璃晶圓是否允許晶背可否碰觸進行客製化設計，檢測缺陷圖像透過SECS 自動數據上報儲存分析，符合智能產線智動化需求。
產品特性
- 晶圓高速全檢。
- 支援矽晶圓及玻璃晶圓。
- 支援SECS/GEM通訊。
重點規格
- 晶圓尺寸：8吋、12吋
- 物鏡倍率：2X、5X、10X、20X (可選)
- 自動對焦： Coaxial Real-time Autofocus
- 光源：Bright and Dark Field LED Lighting
- Throughput: WPH ≥ 30
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旭東機械 高速全晶圓缺陷自動光學檢測設備服務簡介
旭東機械工業股份有限公司是台灣一家擁有超過45年經驗的專業高速全晶圓缺陷自動光學檢測設備生產製造服務商。 我們成立於西元1979年, 在電子設備產業領域上, 旭東機械提供專業高品質的高速全晶圓缺陷自動光學檢測設備製造服務, 旭東機械 總是可以達成客戶各種品質要求。
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