SORTER
Wafer Sorter
Wafer Sorter 自动排序搬运设备是给8吋晶圆使用,包含两个入料区、两个出料区、对位站、翻转站以及一个暂存区, 入料区有mapping功能,可以得知目前放片状况,对位站有晶圆刻号扫描功能,可以得知该晶圆刻号,转换方式包含拆批(只依照SECS命令),并批(只依照SECS命令),一对一对传(可依照晶圆刻号排序或依照SECS命令)。入料区可以客制化设计,以对应不同的卡匣种类。
Item | Specification |
Product | 8”wafer Thickness: 200um/750um Warpage<3mm |
In/out Port | > 4 port |
Wafer Mapping | Yes |
Notch/flat finding/Aligner | Yes |
Flip | Non-contact or Edge contact |
Wafer ID reader | OCR (Optional backside OCR) |
UPH | 115 |
SECS | Option |
Dimension | W 2850 x L 2550 x H 2000 mm |
旭東機械SORTER服务简介
旭東機械工業股份有限公司是台湾一家拥有超过45年经验的专业SORTER生产制造服务商。 我们成立于西元1979年, 在电子设备产业领域上,旭東機械提供专业高品质的SORTER制造服务,旭東機械总是可以达成客户各种品质要求。
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