소터
웨이퍼 소터
웨이퍼 소터 자동 정렬 및 처리 장비는 8인치 웨이퍼에 사용됩니다. 두 개의 투입 영역, 두 개의 배출 영역, 정렬 스테이션, 뒤집기 스테이션 및 임시 저장 영역이 포함되어 있습니다. 인피드 영역에는 매핑 기능이 있어 현재 재생 상태를 파악할 수 있으며, 정렬 스테이션에는 웨이퍼 마크 스캔 기능이 있어 웨이퍼 마크를 파악할 수 있습니다. 변환 방법에는 일괄 처리 분할(SEC 명령에 따라), 일괄 처리(SEC 명령에 따라) 및 일대일 전송이 포함됩니다. (웨이퍼 마킹 번호 또는 SECS 명령에 따라 정렬할 수 있습니다). 급여 영역은 다양한 카세트 유형에 대응하도록 사용자 정의할 수 있습니다.
- 양면 비접촉 웨이퍼/두께 : 200um/750um
- 7가지 다른 CST (13슬롯 & 25슬롯)에 적용 가능
- 진공 흡착 포크를 이용한 엣지 접촉
품목 | 사양 |
제품 | 8인치 웨이퍼 두께: 200um/750um 휨 <3mm |
입/출력 포트 | > 4 포트 |
웨이퍼 매핑 | 네 |
노치/평면 찾기/정렬기 | 네 |
뒤집기 | 비접촉 또는 엣지 접촉 |
웨이퍼 ID 리더 | OCR (옵션 백사이드 OCR) |
UPH | 115 |
SECS | 옵션 |
차원 | W 2850 x L 2550 x H 2000 mm |
소터 | 대만 제조 지능형 공정 장비 | Shuz Tung
1979년부터 대만을 기반으로 하는 Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd.는 지능형 공정 장비 제조업체입니다.주요 지능형 공정 장비에는 소터, 반도체 자동화 장비, 반도체 측정 및 검사 장비, 평판 디스플레이 턴키 장비, TFT-LCD 모듈 공정 전체 라인 장비 및 웨이퍼 선박 자동 포장 및 언패킹 기계가 포함됩니다.우리는 고기술 산업에서 최적의 장비 효율을 위한 맞춤형 디자인을 제공합니다.생산 속도, 품질 및 환경 친화성을 우선시함으로써 경쟁 우위와 상당한 부가가치를 확보할 수 있습니다.
1979년 설립된 Shuz Tung 기계 산업은 맞춤형 장비 제조에 있어 43년의 방대한 경험과 자원, 탁월한 광학, 기계, 전자, 소프트웨어 및 시스템 통합 능력에 중점을 두고 있으며, 정밀 금형 제조, 레이저 수리 및 절단, 고정밀 본딩 (PCB 본더), 자동 광학 검사 (AOI), 인공지능 이미징 및 스마트 제조를 위한 턴키 솔루션을 포함한 핵심 기술에 초점을 맞추고 있습니다.
'SHUZ TUNG'는 1979년부터 고객에게 고급 기술과 30년의 경험을 갖춘 고품질 지능형 공정 장비를 제공해 왔으며, 'SHUZ TUNG'은 각 고객의 요구를 충족시키도록 보장합니다.