全自動ウェハ光学顕微鏡検査装置
AFOM-3200
自動ウェハ検査
高速全ウェーハ欠陥自動光学検査装置は、回路パターンウェーハの表面欠陥を高速で全面検査することができます。 顕微鏡対物レンズの倍率を切り替えることで、検査解像度を調整できます。 12インチのシリコンウェハーの画素解像度が1.1マイクロメートルの場合、検査速度は時間当たり30枚以上に達することができます。 検査プラットフォームはシリコンウェーハーやガラスウェーハーの裏側に触れることができるかどうかを決定するようにカスタマイズできます。 欠陥画像は自動的に検出され、SECS を通じて分析のために報告および保存されます。これは、インテリジェントな生産ラインの自動化要件を満たしています。
特長
- 高速全ウェーハ検査。
- シリコンウェーハとガラスウェーハをサポートします。
- SECS/GEMをサポートします。
アプリケーション
ウェーハサイズ: 8インチ、12インチ
照明: 明るいおよび暗視野LEDライティング
対物レンズ倍率: 2X、5X、10X、20X (オプション)
スループット: WPH ≥ 30
オートフォーカス: 同軸リアルタイムオートフォーカス
用途:
露光エッチング工程。
先進的なウェーハバンピング工程。
全自動ウェハ光学顕微鏡検査装置 | 台湾製のインテリジェントプロセス装置 | Shuz Tung
1979年以来台湾を拠点に、Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd. は知能プロセス装置の製造メーカーです。主要なインテリジェントプロセス装置には、全自動ウェハ光学顕微鏡検査装置、半導体自動化装置、半導体計測検査装置、フラットパネルディスプレイターンキー装置、TFT-LCDモジュールプロセス全ライン装置、ウェハーシッパー自動梱包・開梱機が含まれています。当社はハイテク産業における最適な機器効率のためのカスタマイズされた設計を提供しています。生産速度、品質、環境配慮を優先することで競争力と大きな付加価値を確保します。
1979年に設立され、43年の豊富な経験とカスタマイズされた機器製造のリソース、優れた光学、機械、電子、ソフトウェア、およびシステム統合能力を持つShuz Tung Machinery Industrialは、精密金型製造、レーザー修理と切断、高精度ボンディング(PCBボンダー)、自動光学検査(AOI)、人工知能画像処理、およびスマート製造のためのターンキー・ソリューションを含むコア技術に焦点を当てています。
'SHUZ TUNG'は1979年以来、先進技術と30年の経験を持つ高品質なインテリジェントプロセス装置を顧客に提供しており、Shuz Tungはそれぞれの顧客のニーズを満たすことを保証しています。