Équipement d'inspection optique automatique de microscopie à pleine plaque
AFOM-3200
Inspection automatique des plaquettes
L'équipement d'inspection optique automatique des défauts de plaquette à grande vitesse peut effectuer une inspection complète à grande vitesse des défauts de surface des plaquettes de motifs de circuits. La résolution d'inspection peut être ajustée en changeant le grossissement de l'objectif du microscope. Pour des tranches de silicium de 12 pouces sous une résolution de pixel de 1,1 micromètre, la vitesse d'inspection peut atteindre plus de 30 tranches par heure. La plateforme d'inspection peut être personnalisée pour déterminer si l'envers des tranches de silicium et des tranches de verre peuvent être touchés. Les images de défauts détectées sont automatiquement signalées et stockées pour analyse via SECS, répondant aux exigences d'automatisation des lignes de production intelligentes.
Fonctionnalités
- Inspection de plaquette complète à grande vitesse.
- Prendre en charge les plaquettes de silicium et les plaquettes de verre.
- Prendre en charge SECS/GEM.
Applications
Taille de la plaquette : 8 pouces, 12 pouces
Éclairage : Éclairage LED à champ clair et sombre
Grossissement de l'objectif : 2X, 5X, 10X, 20X (en option)
Débit : WPH ≥ 30
Mise au point automatique : Mise au point automatique coaxiale en temps réel
Applications :
Processus de gravure d'exposition.
Processus avancé de bossage de plaquette.
Équipement d'inspection optique automatique de microscopie à pleine plaque | Fabriqué à Taiwan Équipement de processus intelligent | Shuz Tung
Établie à Taïwan depuis 1979, Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd. est un fabricant d'équipements de processus intelligents.Les principaux équipements de processus intelligents comprennent, Équipement d'inspection optique automatique de microscopie à pleine plaque, des équipements d'automatisation de semi-conducteurs, des équipements de métrologie et d'inspection de semi-conducteurs, des équipements clés en main pour affichage à écran plat, des équipements de ligne de processus de modules TFT-LCD et des machines automatiques d'emballage et de déballage de plaquettes.Nous proposons des conceptions personnalisées pour une efficacité optimale de l'équipement dans les industries de haute technologie.En priorisant la vitesse de production, la qualité et le respect de l'environnement, vous garantissez un avantage concurrentiel et une valeur ajoutée significative.
Fondée en 1979, avec 43 ans d'expérience et de ressources considérables dans la fabrication d'équipements sur mesure, et une remarquable capacité d'intégration optique, mécanique, électronique, logicielle et système, Shuz Tung Machinery Industrial se concentre sur les technologies de base, notamment la fabrication de moules de précision, la réparation et la découpe au laser, le collage de haute précision (colle pour PCB), l'inspection optique automatique (AOI), l'imagerie par intelligence artificielle et la solution clé en main pour la fabrication intelligente.
'Shuz Tung' fournit à ses clients un équipement de processus intelligent de haute qualité depuis 1979, à la fois avec une technologie avancée et 30 ans d'expérience, 'Shuz Tung' veille à ce que les besoins de chaque client soient satisfaits.