Automatische optische Vollwafermikroskopinspektion | Intelligente Prozessausstattung: Die Rolle intelligenter Maschinen in automatisierten Systemen.

Automatische Waferkontrolle | Shuz Tung Maschinenbau hat beträchtliches Vertrauen und Unterstützung von inländischen und internationalen Großunternehmen aus den Bereichen Halbleiter, Flachbildschirmprozesse, Leiterplatten, intelligente medizinische Bildgebung, schlüsselfertige Planung für Fahrräder und Teileverarbeitung von Autos, Rollern und einer Vielzahl von Branchen gewonnen.

Automatische optische Vollwafermikroskopinspektion - Automatische optische Vollwafermikroskopinspektion
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Automatische optische Vollwafermikroskopinspektion

AFOM-3200

Automatische Waferkontrolle

Die Hochgeschwindigkeits-Vollwafer-Defekte-Automatische-Optische-Inspektionsausrüstung kann eine Hochgeschwindigkeits-Vollinspektionen für Oberflächendefekte von Schaltmusterwafers durchführen. Die Inspektionsauflösung kann durch Umschalten der Vergrößerung des Mikroskop-Objektivs angepasst werden. Bei 12-Zoll-Siliziumwafern mit einer Pixelauflösung von 1,1 Mikrometern kann die Inspektionsgeschwindigkeit mehr als 30 Wafer pro Stunde erreichen. Die Inspektionsplattform kann angepasst werden, um zu bestimmen, ob die Rückseite von Siliziumwafern und Glaswafern berührt werden kann. Erkannte defekte Bilder werden automatisch über SECS gemeldet und für die Analyse gespeichert, um die Automatisierungsanforderungen intelligenter Produktionslinien zu erfüllen.

Eigenschaften
  • Hochgeschwindigkeits-Vollwafer-Inspektion.
  • Unterstützen Sie Siliziumwafer und Glaswafer.
  • Unterstützen Sie SECS/GEM.
Anwendungen

Wafergröße: 8 Zoll, 12 Zoll
Beleuchtung: Helle und dunkle Feld-LED-Beleuchtung
Objektivvergrößerung: 2X, 5X, 10X, 20X (optional)
Durchsatz: WPH ≥ 30
Autofokus: Koaxialer Echtzeit-Autofokus
Anwendungen:
Belichtungsprozess zum Ätzen.
Fortschrittlicher Wafer-Bumping-Prozess.


Automatische optische Vollwafermikroskopinspektion | Hergestellt in Taiwan Intelligente Prozessausrüstung | Shuz Tung

Seit 1979 in Taiwan ansässig, ist Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd. ein Hersteller von intelligenten Prozessgeräten.Zu den wichtigsten intelligenten Prozessausrüstungen gehören Automatische optische Vollwafermikroskopinspektion, Halbleiterautomatisierungsausrüstung, Halbleitermesstechnik- und Inspektionsausrüstung, schlüsselfertige Ausrüstung für Flachbildschirme, Ausrüstung für den gesamten Prozess von TFT-LCD-Modulen und automatische Verpackungs- und Entpackungsmaschinen für Wafer-Transportbehälter.Wir bieten maßgeschneiderte Designs für optimale Geräteeffizienz in High-Tech-Branchen an.Die Priorisierung von Produktionsgeschwindigkeit, Qualität und Umweltfreundlichkeit gewährleistet Wettbewerbsvorteile und erheblichen Mehrwert.

Gegründet im Jahr 1979, mit 43 Jahren umfangreicher Erfahrung und Ressourcen in der Herstellung von maßgeschneiderten Geräten sowie herausragenden Fähigkeiten in optischer, mechanischer, elektronischer, Software- und Systemintegration konzentriert sich Shuz Tung Machinery Industrial auf die Kerntechnologien, darunter Präzisionsformenbau, Laserreparatur und -schneiden, hochpräzise Verbindung (PCB-Bonder), Automatische optische Inspektion (AOI), Künstliche Intelligenz-Bildgebung und schlüsselfertige Lösungen für die intelligente Fertigung.

'Shuz Tung' bietet seinen Kunden seit 1979 hochwertige intelligente Prozessausrüstungen mit fortschrittlicher Technologie und 30 Jahren Erfahrung. 'Shuz Tung' stellt sicher, dass die Bedürfnisse jedes Kunden erfüllt werden.