자동 전체 웨이퍼 광학 현미경 검사 장비 | 지능형 프로세스 장비: 자동화 시스템에서 스마트 기계의 역할.

자동 웨이퍼 검사 | Shuz Tung 기계 산업은 반도체, 평면 디스플레이 공정, 인쇄회로 기판, 지능형 의료 이미징, 자전거 턴키 기획, 자동차, 스쿠터 및 다양한 산업의 부품 가공 등 국내외 주요 기업으로부터 상당한 신뢰와 지원을 받았습니다.

자동 전체 웨이퍼 광학 현미경 검사 장비 - 자동 전체 웨이퍼 광학 현미경 검사 장비
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자동 전체 웨이퍼 광학 현미경 검사 장비

AFOM-3200

자동 웨이퍼 검사

고속 전체 웨이퍼 결함 자동 광학 검사 장비는 회로 패턴 웨이퍼의 표면 결함에 대한 고속 전체 검사를 수행할 수 있습니다. 현미경 대물렌즈의 배율을 전환하여 검사 해상도를 조정할 수 있습니다. 12인치 실리콘 웨이퍼의 픽셀 해상도가 1.1 마이크로미터일 때, 검사 속도는 시간당 30개 이상의 웨이퍼에 도달할 수 있습니다. 실리콘 웨이퍼와 유리 웨이퍼의 뒷면을 만질 수 있는지 여부를 결정하도록 검사 플랫폼을 맞춤 설정할 수 있습니다. 결함 이미지가 자동으로 감지되어 SECS를 통해 분석을 위해 보고되고 저장되며, 이는 지능형 생산 라인의 자동화 요구 사항을 충족합니다.

특징
  • 고속 전체 웨이퍼 검사.
  • 실리콘 웨이퍼와 유리 웨이퍼를 지원합니다.
  • SECS/GEM을 지원합니다.
응용 프로그램

웨이퍼 크기: 8인치, 12인치
조명: 밝은 필드 및 어두운 필드 LED 조명
대물 배율: 2X, 5X, 10X, 20X (선택 사항)
처리량: WPH ≥ 30
자동 초점: 동축 실시간 자동 초점
응용 분야:
노출 식각 공정.
고급 웨이퍼 범핑 공정.


자동 전체 웨이퍼 광학 현미경 검사 장비 | 대만 제조 지능형 공정 장비 | Shuz Tung

1979년부터 대만을 기반으로 하는 Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd.는 지능형 공정 장비 제조업체입니다.주요 지능형 공정 장비에는 자동 전체 웨이퍼 광학 현미경 검사 장비, 반도체 자동화 장비, 반도체 측정 및 검사 장비, 평판 디스플레이 턴키 장비, TFT-LCD 모듈 공정 전체 라인 장비 및 웨이퍼 선박 자동 포장 및 언패킹 기계가 포함됩니다.우리는 고기술 산업에서 최적의 장비 효율을 위한 맞춤형 디자인을 제공합니다.생산 속도, 품질 및 환경 친화성을 우선시함으로써 경쟁 우위와 상당한 부가가치를 확보할 수 있습니다.

1979년 설립된 Shuz Tung 기계 산업은 맞춤형 장비 제조에 있어 43년의 방대한 경험과 자원, 탁월한 광학, 기계, 전자, 소프트웨어 및 시스템 통합 능력에 중점을 두고 있으며, 정밀 금형 제조, 레이저 수리 및 절단, 고정밀 본딩 (PCB 본더), 자동 광학 검사 (AOI), 인공지능 이미징 및 스마트 제조를 위한 턴키 솔루션을 포함한 핵심 기술에 초점을 맞추고 있습니다.

'SHUZ TUNG'는 1979년부터 고객에게 고급 기술과 30년의 경험을 갖춘 고품질 지능형 공정 장비를 제공해 왔으며, 'SHUZ TUNG'은 각 고객의 요구를 충족시키도록 보장합니다.