晶圆外观自动光学检测设备

晶圆外观自动光学检测设备/ 旭东不只是机械设备的供应商,更是为客户提供制程设备,整合规划、设计、制造、训练与整厂售后服务的策略合作伙伴。

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晶圆外观自动光学检测设备

M-3200

晶圆外观自动光学检测设备具备高速晶圆正面、背面及侧边缺陷检测功能,同时满足晶圆生产的IQC、IPQC、OQC等流程监控,并可取代人工作业、提升晶圆检测速度及准确性,降低误检率,自动数据上报储存分析,符合智能产线智动化之需求。

产品特性
  • 全自动化晶圆外观缺陷检测。
  • 可客制化搭配显微镜缺陷检测。
  • AOI + AI软体缺陷检测及分类功能。
产品应用

晶圆尺寸:8吋、12吋
检测速度:WPH ≥ 100
检测项目:变色、刮痕、脏污、崩边、裂纹、制程缺陷

相簿

旭東機械晶圆外观自动光学检测设备服务简介

旭東機械工業股份有限公司是台湾一家拥有超过45年经验的专业晶圆外观自动光学检测设备生产制造服务商。 我们成立于西元1979年, 在电子设备产业领域上,旭東機械提供专业高品质的晶圆外观自动光学检测设备制造服务,旭東機械总是可以达成客户各种品质要求。