자동 웨이퍼 FOUP / FOSB 검사 장비 | 제조업을 위한 지능형 공정 장비 4.0. 제조 | Shuz Tung
자동 웨이퍼 FOUP / FOSB 검사 장비제조업체.반도체 제조 공정에서는 웨이퍼 카세트 (FOUP / FOSB) 검사 장비를 사용하여 웨이퍼 카세트의 외관 결함, 부재 및 이송 과정에서의 마찰 및 충돌로 인한 변형을 검사하여 웨이퍼 카세트 결함으로 인한 웨이퍼 오염의 위험을 줄입니다. Shuz Tung는 1979년부터 대만에서 고품질 자동 웨이퍼 FOUP / FOSB 검사 장비, 자동 웨이퍼 검사 제조업체입니다.Shuz Tung 전자 장비 사업부는 2001년에 설립되었으며, 고급 전자 장비 분야에 초점을 맞추어 자동화 생산 장비 및 공정 검사 및 측정 장비의 연구 및 개발, 설계 및 제조에 전념하고 있습니다.1979년 설립된 Shuz Tung 기계산업은 맞춤형 장비 제조에 43년의 방대한 경험과 자원을 보유하고 있으며 우수한 광학, 기계, 전자, 소프트웨어 및 시스템 통합 능력을 갖추고 있습니다. 핵심 기술에 중점을 둔 Shuz Tung 기계산업은 정밀 금형 제조, 레이저 수리 및 절단, 고정밀 본딩 (PCB 본더), 자동 광학 검사 (AOI), 인공지능 이미징 및 스마트 제조를 위한 턴키 솔루션을 중점으로 두고 있습니다.
자동 웨이퍼 FOUP / FOSB 검사 장비
WF-3000
자동 웨이퍼 검사
반도체 제조 공정에서는 웨이퍼 카세트 (FOUP / FOSB) 검사 장비를 사용하여 웨이퍼 카세트의 외관 결함, 부재 및 이송 과정에서의 마찰 및 충돌로 인한 변형을 검사하여 웨이퍼 카세트 결함으로 인한 웨이퍼 오염의 위험을 줄입니다.
특징
- 완전 자동화된 비접촉식 광학 검사.
- 맞춤형 테스트 항목.
- SEMI S2 인증을 준수합니다.
- SECS / GEM 통신을 지원합니다.
사양
- UPH ≥ 17
- 검사 항목: 웨이퍼 카세트 핸들, 버섯 머리, 행 프레임 (문에), 문 패널 고무 스트립, 나사 (문에), 행 프레임 (앞), 바닥 필터, 바닥 정보 핀, 나사 (바닥), FOUP 창, 창 나사, FOUP 날개, 문 패널 열쇠 구멍, 그리고 다른 바코드 비교, 문 패널 휘어짐, 문 패널 완전히 닫히지 않음...등.
- 장비 크기: 2800mm (길이) x 1900mm (폭) x 2200mm (높이)
- 갤러리
웨이퍼 FOUPFOSB 검사 장비 - 검사 결과
02010205 웨이퍼 FOUPFOSB 검사 장비 - 검사 항목
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자동 웨이퍼 FOUP / FOSB 검사 장비 | 대만 제조 지능형 공정 장비 | Shuz Tung
1979년부터 대만을 기반으로 하는 Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd.는 지능형 공정 장비 제조업체입니다.주요 지능형 공정 장비에는 자동 웨이퍼 FOUP / FOSB 검사 장비, 반도체 자동화 장비, 반도체 측정 및 검사 장비, 평판 디스플레이 턴키 장비, TFT-LCD 모듈 공정 전체 라인 장비 및 웨이퍼 선박 자동 포장 및 언패킹 기계가 포함됩니다.우리는 고기술 산업에서 최적의 장비 효율을 위한 맞춤형 디자인을 제공합니다.생산 속도, 품질 및 환경 친화성을 우선시함으로써 경쟁 우위와 상당한 부가가치를 확보할 수 있습니다.
1979년 설립된 Shuz Tung 기계 산업은 맞춤형 장비 제조에 있어 43년의 방대한 경험과 자원, 탁월한 광학, 기계, 전자, 소프트웨어 및 시스템 통합 능력에 중점을 두고 있으며, 정밀 금형 제조, 레이저 수리 및 절단, 고정밀 본딩 (PCB 본더), 자동 광학 검사 (AOI), 인공지능 이미징 및 스마트 제조를 위한 턴키 솔루션을 포함한 핵심 기술에 초점을 맞추고 있습니다.
'SHUZ TUNG'는 1979년부터 고객에게 고급 기술과 30년의 경험을 갖춘 고품질 지능형 공정 장비를 제공해 왔으며, 'SHUZ TUNG'은 각 고객의 요구를 충족시키도록 보장합니다.