Équipement d'inspection automatique de FOUP / FOSB de plaquette
WF-3000
Inspection automatique des plaquettes
L'équipement d'inspection automatique de cassette de tranche (FOUP / FOSB) est utilisé dans le processus de fabrication de semi-conducteurs pour inspecter les défauts d'apparence, les pièces manquantes et la déformation de la cassette de tranche due au frottement et aux collisions pendant le processus de transfert, réduisant ainsi le risque de contamination des tranches due aux défauts de la cassette de tranche.
Fonctionnalités
- Inspection optique entièrement automatisée sans contact.
- Articles de test personnalisables.
- Conforme à la certification SEMI S2.
- Prise en charge de la communication SECS / GEM.
Spécification
- UPH ≥ 17
- Éléments d'inspection : poignée du boîtier de la galette, tête de champignon, cadre de rangée (sur la porte), bande de caoutchouc du panneau de porte, vis (sur la porte), cadre de rangée (avant), filtre inférieur, broche d'info inférieure, vis (inférieure), fenêtre FOUP, vis de fenêtre, ailes FOUP, trous de serrure du panneau de porte, et autres comparaisons de codes-barres, déformation du panneau de porte, panneaux de porte non entièrement fermés...etc.
- Taille de l'équipement : 2800mm (L) x 1900mm (l) x 2200mm (H)
- Galerie
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Équipement d'inspection des plaquettes FOUPFOSB - Résultat de l'inspection
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02010205 Équipement d'inspection des plaquettes FOUPFOSB - Élément d'inspection
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Équipement d'inspection automatique de FOUP / FOSB de plaquette | Fabriqué à Taiwan Équipement de processus intelligent | Shuz Tung
Établie à Taïwan depuis 1979, Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd. est un fabricant d'équipements de processus intelligents.Les principaux équipements de processus intelligents comprennent, Équipement d'inspection automatique de FOUP / FOSB de plaquette, des équipements d'automatisation de semi-conducteurs, des équipements de métrologie et d'inspection de semi-conducteurs, des équipements clés en main pour affichage à écran plat, des équipements de ligne de processus de modules TFT-LCD et des machines automatiques d'emballage et de déballage de plaquettes.Nous proposons des conceptions personnalisées pour une efficacité optimale de l'équipement dans les industries de haute technologie.En priorisant la vitesse de production, la qualité et le respect de l'environnement, vous garantissez un avantage concurrentiel et une valeur ajoutée significative.
Fondée en 1979, avec 43 ans d'expérience et de ressources considérables dans la fabrication d'équipements sur mesure, et une remarquable capacité d'intégration optique, mécanique, électronique, logicielle et système, Shuz Tung Machinery Industrial se concentre sur les technologies de base, notamment la fabrication de moules de précision, la réparation et la découpe au laser, le collage de haute précision (colle pour PCB), l'inspection optique automatique (AOI), l'imagerie par intelligence artificielle et la solution clé en main pour la fabrication intelligente.
'Shuz Tung' fournit à ses clients un équipement de processus intelligent de haute qualité depuis 1979, à la fois avec une technologie avancée et 30 ans d'expérience, 'Shuz Tung' veille à ce que les besoins de chaque client soient satisfaits.